웨이퍼 수분 제거 히터 램프

300 mm 라인에서 웨이퍼는 표면에 얇은 수분막을 그대로 지닌 채 베이크 트랙에 진입한다. 램프가 그 수분을 빠르고 고르게 제거하지 못하면, 다음 리소그래피 공정에서 에지 비드, 레지스트 결함, 그리고 CD 드리프트가 발생하며, 이는 리컨실리에이션 리포트 상에서 수...