실리콘 카바이드(SiC) 로등

생산 현장에서는 포토레지스트를 가열하는 과정이 단순한 권장 사항이 아니라 반드시 준수해야 하는 규격입니다. 소프트 베이크나 하드 베이크의 온도가 2°C만 변동해도 치명적인 결함이 발생할 수 있으며, 그로 인해 웨이퍼가 폐기되게 됩니다. 따라서 오븐 내부의 램프는 일관...