글라스 샤워를 막아라: 웨이퍼를 깨끗하게 유지하기 대량 생산 라인에서는 단 한 개의 램프가 고장 나도 큰 문제가 됩니다. 단순히 가동 중단뿐만 아니라, 석영관이 파손되면 유리 조각과 금속 찌꺼기들이 웨이퍼 위에 흩어집니다. 잠시만 방치해도 전체 제품이 폐기되고 맙니다...

팹 플로어에서 당신은 절차를 잘 알고 있다: 0.2°C만 벗어나도 포토레지스트 베이크가 크리티컬 디멘션 제어를 오프스펙으로 만들고 수율을 저하시킬 수 있다. 입자 발생이나 예기치 않은 다운타임 없이 시간이 지나도 반복되는 열처리 단계가 필요하다. 기술적으로 중요한 점...