왜 실리콘 웨이퍼를 가열할 때 금을 사용하는가? 실리콘 웨이퍼를 가열할 때, 목표물에 도달하지 않는 에너지는 그저 낭비된 돈일 뿐입니다. 더욱 문제인 것은, 그 낭비된 열이 기계의 프레임으로 전달된다는 점입니다. 이는 결코 원치 않는 상황입니다. 이러한 문제를 해결하...

리소그래피 공정의 포토레지스트 베이크 단계는 열 예산이 선폭 제어로 전환되는 순간이다. 소프트 베이크에서 1도만 벗어나도 용매 제거 방식이 바뀐다. 그리고 하드 베이크가 웨이퍼 전반에 걸쳐 일정하지 않으면, 엄격한 CD 균일도는 기대할 수 없다. 바로 이 지점에서 탄...