진공 챔버에서의 열 손실을 막아보세요.
솔직히 말해서, 진공 챔버 내에서 에너지가 낭비되는 것은 형편없는 설계입니다. 실리콘 웨이퍼를 가열할 때, 기판에 닿지 않는 모든 와트는 낭비된 에너지입니다. 그 에너지는 결국 챔버의 벽을 뜨겁게 만들고, 냉각 시스템도 불필요하게 더 열심히 작동하게 됩니다. 그래서 우리는 금으로 코팅된 반사체를 사용합니다. 이렇게 하면 열이 제대로 있는 곳에만 남게 됩니다.
왜 금을 사용할까요?
대부분의 사람들은 알루미늄 반사체를 사용하지만, 문제는 알루미늄이 적외선 에너지를 너무 많이 통과시킨다는 점입니다. 우리는 고순도 금 층을 사용하는데, 이는 장파 및 중파 적외선을 훨씬 better하게 처리할 수 있기 때문입니다. 금은 빛을 그냥 반사시키는 것이 아니라, 방사된 에너지를 직접 웨이퍼로 보냅니다. 반사체가 에너지를 흡수하지 않으므로, 거의 모든 에너지가 목표물에 도달합니다.
높은 에너지 밀도를 얻는 비결
웨이퍼에 높은 에너지 밀도를 주려면 균형을 맞추는 것이 중요합니다. 램프의 와트수와 반사체의 형태를 적절히 조절해야 합니다. 만약 정밀한 금 반사체 없이 고와트수의 램프를 사용한다면, 과열된 부분이 생기고 가열이 불균일해집니다. 이는 문제가 됩니다. 우리의 금 코팅 시스템은 빛을 더욱 집중시켜 줍니다. 그래서 목표 온도에 더 빨리 도달할 수 있으며, 필라멘트가 손상될 정도로 높은 전압을 사용할 필요도 없습니다.
단점도 있습니다
금은 이 일을 위한 최고의 재료이지만, 완전히 파괴되지는 않습니다. 이러한 표면들은 섬세하기 때문에, 만약 공정 중에 부식성 가스가 사용되거나 가스가 많이 방출된다면, 금 층이 손상될 수 있습니다. 따라서 챔버를 깨끗하게 유지해야 합니다. 반사체에 필름이 쌓이면 효율성이 떨어지고, 같은 온도를 유지하기 위해 더 많은 에너지가 필요해집니다.
마지막 팁: 이 장비들을 안정적인 전원 공급 장치에 연결하세요. 전압의 변동을 피해야 합니다. 안정적인 전류는 방출 스펙트럼을 일정하게 유지시켜주며, 이것이 웨이퍼 전체에 열이 고르게 분배되도록 하는 유일한 방법입니다.