탄소 나노튜브 제작 히터

리소그래피 공정의 포토레지스트 베이크 단계는 열 예산이 선폭 제어로 전환되는 순간이다. 소프트 베이크에서 1도만 벗어나도 용매 제거 방식이 바뀐다. 그리고 하드 베이크가 웨이퍼 전반에 걸쳐 일정하지 않으면, 엄격한 CD 균일도는 기대할 수 없다. 바로 이 지점에서 탄...