Tại sao chúng ta chuyển sang phương pháp sấy khô bằng tia hồng ngoại cho các tấm wafer?
Gần đây, có xu hướng ngày càng mạnh mẽ trong việc sử dụng tia hồng ngoại để sấy khô các tấm wafer. Điều này hoàn toàn hợp lý. Chúng ta muốn tránh việc sử dụng các chất mang tính chất dung môi để làm nóng, cũng như tránh việc gây ra lượng khí thải carbon lớn như trong các nhà máy truyền thống. Trong môi trường văn phòng sạch, việc sử dụng các công nghệ “thân thiện với môi trường” không chỉ là yêu cầu trong các tài liệu quảng cáo mà còn là điều kiện bắt buộc. Công nghệ tia hồng ngoại giúp làm nóng các tấm wafer bằng cách truyền bức xạ điện từ trực tiếp vào bề mặt của chúng. Không cần dùng đến các yếu tố trung gian nào cả.
Bí quyết để làm nóng hiệu quả
Hãy nghĩ về lò sấy thông thường: nó làm nóng không khí trước, sau đó không khí đó mới làm nóng các bộ phận cần được xử lý. Quy trình này rất chậm và lãng phí năng lượng.
Còn đèn tia hồng ngoại thì khác. Chúng phát ra bức xạ sóng ngắn, giúp làm nóng trực tiếp bề mặt của tấm wafer. Đây chính là cách truyền năng lượng trực tiếp. Vì vậy, bạn không cần lãng phí năng lượng để làm nóng toàn bộ khoang lò; nhiệt độ có thể được tạo ra ngay lập tức. Quy trình này rất nhanh. Đó chính là cách giúp chúng ta tiết kiệm năng lượng mà vẫn duy trì được tốc độ xử lý.
Việc cân bằng giữa khoảng cách và nhiệt độ
Đây chính là điểm khó khăn nhất. Hầu hết các kỹ sư đều gặp khó khăn trong việc xác định khoảng cách an toàn giữa đèn và tấm wafer. Nếu đặt đèn quá gần, có thể gây ra các vùng bị quá nhiệt hoặc làm hỏng các mép của tấm wafer. Nhưng nếu đặt đèn quá xa, tốc độ xử lý sẽ giảm down vì cường độ nhiệt giảm đi. Đó là một thách thức lớn. Bạn cần phải cân bằng giữa cường độ năng lượng của đèn và khả năng giải nhiệt của tấm wafer. Các đèn có cường độ cao giúp tăng tốc độ xử lý, nhưng chúng lại gây áp lực lớn lên hệ thống làm mát. Nếu hệ thống làm mát không thể kiểm soát được lượng nhiệt sinh ra, các đèn sẽ hỏng sớm hơn dự kiến.
Một phương pháp làm việc hiệu quả hơn
Điều tuyệt vời nhất là phương pháp sấy khô bằng tia hồng ngoại là phương pháp khô. Bạn không cần sử dụng các chất xúc tác hóa học hay các chất ổn định chứa chì nữa. Không còn khí độc hại lan tỏa trong môi trường làm việc. Bạn chỉ cần kết nối đèn với hệ thống điện, thiết lập thời gian hoạt động, và mọi thứ sẽ được kiểm soát tốt. Đó chính là giải pháp đơn giản và hiệu quả thay thế cho các hệ thống sấy truyền thống.