Hãy ngừng lãng phí năng lượng vào các thiết bị xử lý wafer đi!
Khi bạn làm nóng các tấm silicon, mỗi watt năng lượng bị lãng phí đều chẳng khác nào việc để tiền rơi xuống đất vô ích.
Vấn đề là: các bóng đèn hồng ngoại thông thường phát ra năng lượng ra mọi hướng. Nhưng trong thiết bị xử lý wafer, chúng ta chỉ quan tâm đến lượng nhiệt được truyền vào bề mặt wafer thôi. Mọi thứ còn lại đều chỉ là yếu tố gây nhiễu mà thôi. Chúng tôi giải quyết vấn đề này bằng công nghệ phủ vàng lên bề mặt thiết bị. Thay vì để năng lượng bị lãng phí, chúng tôi đưa năng lượng đó trực tiếp vào bề mặt wafer.
Tại sao chọn vàng?
Bởi vì vàng có khả năng phản xạ ánh sáng hồng ngoại cực tốt. Hầu hết mọi người sử dụng các vật liệu phản xạ bằng nhôm, nhưng chúng lại hấp thụ quá nhiều nhiệt khi nhiệt độ tăng cao. Vàng thì không như vậy; nó phản xạ ánh sáng với tỷ lệ lỗi gần như bằng không. Điều này có nghĩa là mỗi watt năng lượng bạn sử dụng đều được tận dụng triệt để để nâng nhiệt độ bề mặt wafer.
Điều quan trọng là việc tập trung năng lượng
Chúng ta không chỉ đơn giản là phản xạ ánh sáng mà còn cần tập trung năng lượng vào một điểm cụ thể. Cấu trúc của vỏ thiết bị được thiết kế sao cho năng lượng được tập trung vào một vùng nhất định. Điều này giúp đạt được nhiệt độ mong muốn nhanh hơn. Ngoài ra, điều này còn giúp tạo ra gradient nhiệt chính xác hơn. Nếu bạn đang xử lý các tấm wafer có kích thước 300mm, đây chính là cách duy nhất để đảm bảo quá trình xử lý diễn ra đồng đều trên toàn bộ bề mặt wafer.
Nhược điểm và cách khắc phục
Việc tập trung nhiều năng lượng như vậy cũng mang lại một số nhược điểm. Vì chúng ta đang tập trung quá nhiều nhiệt lượng vào wafer, nên vỏ thiết bị có thể bị hư hỏng nếu dòng khí lưu thông không ổn định. Bạn cần đảm bảo rằng các quạt làm mát và bộ tản nhiệt hoạt động tốt. Nếu vỏ thiết bị quá nóng, nó có thể bị biến dạng. Khi đó, điểm tập trung năng lượng sẽ thay đổi, và bạn sẽ gặp phải tình trạng có những vùng lạnh trên bề mặt wafer. Điều này không tốt chút nào.
Tin tốt là: những hệ thống này được thiết kế để thay thế cho các bóng đèn hồng ngoại thông thường. Bạn chỉ cần kết nối chúng với bộ điều khiển hiện có của mình. Bạn sẽ thấy rằng thiết bị đạt được nhiệt độ mong muốn nhanh hơn, vì bạn đã loại bỏ được những yếu tố gây cản trở từ quy luật vật lý.