Trên dây chuyền sản xuất có độ phân giải 300mm, việc xảy ra sai lệch trong quá trình sấy khô phim quang học hoặc sự xuất hiện của các hạt bụi trong quá trình này là điều không thể chấp nhận được. Khi nguồn năng lượng dùng để sấy khô bị hạn chế, bộ phận gia nhiệt không chỉ đơn thuần là một thiết bị vật lý – mà còn là một yếu tố quan trọng trong toàn bộ quy trình sản xuất. Các mô-đun gia nhiệt bằng tia hồng ngoại của chúng tôi được thiết kế riêng cho những trường hợp như vậy, giúp kiểm soát nhiệt độ một cách chính xác ngay tại chỗ.
Những yếu tố quan trọng về mặt kỹ thuật
Chúng tôi sử dụng tia hồng ngoại bước sóng ngắn để truyền năng lượng một cách nhanh chóng và trực tiếp, với thời gian phản ứng dưới một giây. Điều này giúp đảm bảo độ đồng đều của nhiệt độ trên toàn bộ bề mặt wafer, với sai số khoảng ±0,1°C – đây chính là yêu cầu cần thiết cho quá trình sấy khô phim quang học. Các bộ phận phát nhiệt này hoạt động một cách hiệu quả, không tạo ra bụi bẩn, và có thể hoạt động trong môi trường từ loại 1 đến loại 100. Năng suất phát nhiệt vẫn ổn định trong hơn 5.000 giờ hoạt động, giúp đảm bảo tính tái lặp lại của quy trình, và tránh sự biến đổi về chất lượng wafer theo thời gian.
Tại sao nó hiệu quả ở những nơi cần thiết
Trong quy trình in ấn bằng phim quang học, các mô-đun gia nhiệt giúp duy trì nhiệt độ cần thiết để quá trình bay hơi dung môi diễn ra đúng theo tiêu chuẩn của nhà cung cấp phim quang học, chứ không phụ thuộc vào sự thay đổi của nhiệt độ môi trường xung quanh. Trong quá trình sấy khô, chúng giúp hoàn thành công việc mà không tạo ra các vết bẩn trên bề mặt wafer, từ đó giúp giảm chi phí sửa chữa và lãng phí nguyên vật liệu. Việc sử dụng năng lượng cũng được giảm bớt vì các bộ phận phát nhiệt chỉ làm nóng vùng cần thiết, chứ không phải toàn bộ buồng sấy.
Và khi bạn cần duy trì hoạt động liên tục của dây chuyền sản xuất, chúng tôi cung cấp các linh kiện thay thế ngay lập tức. Các mô-đun thay thế có thể được lắp đặt vào vị trí cũ trong máy mà không cần phải điều chỉnh lại toàn bộ quy trình sản xuất.
Đây chính là những yếu tố mà bạn cần lưu ý
Việc sử dụng tia hồng ngoại đòi hỏi phải tính toán kỹ lưỡng về vị trí lắp đặt các bộ phận phát nhiệt và độ phản xạ ánh sáng của chúng. Bạn cần xác định chính xác vị trí lắp đặt các bộ phận phát nhiệt sao cho phù hợp với cấu trúc của wafer. Sau đó, hãy tiến hành kiểm tra để xác định nhiệt độ thực tế của wafer. Quá trình khởi động sẽ diễn ra nhanh chóng, sau đó nhiệt độ sẽ được duy trì ổn định. Việc kiểm soát nhiệt độ chính là yếu tố quyết định đến chất lượng của quy trình sản xuất.