Giữ cho các tấm wafer được sấy khô một cách sạch sẽ
Khi sấy khô các tấm wafer dùng trong cảm biến MEMS, nhiệt độ chỉ là yếu tố quan trọng thôi. Vấn đề thực sự nằm ở việc các hạt bụi có thể rơi xuống bề mặt wafer. Trong phòng sạch loại Class 100, chỉ cần một hạt bụi nhỏ từ vật liệu cách nhiệt cũ hoặc một hạt oxit kim loại thôi cũng đủ để làm hỏng toàn bộ lô sản phẩm. Điều này thật phiền phức và tốn kém.
Đó là lý do tại sao chúng tôi sử dụng các bóng đèn hồng ngoại làm từ thạch anh có độ tinh khiết cao.
Vấn đề với các nguồn nhiệt “tiêu chuẩn”
Hầu hết các linh kiện gia nhiệt đều có xu hướng giải phóng khí hoặc các hạt nhỏ khi được làm nóng và làm lạnh. Chúng tôi không gặp phải vấn đề này. Bằng cách sử dụng thạch anh có độ tinh khiết cao, chúng tôi có được vật liệu có khả năng chịu được những thay đổi nhiệt độ extreme mà không bị nứt hoặc hư hại.
Chúng tôi cũng loại bỏ các chất kết dính hữu cơ và các lớp phủ rẻ tiền. Tại sao ư? Bởi vì những chất này có thể bay hơi và lắng đọng trên bề mặt wafer. Thay vào đó, chúng tôi sử dụng nguồn nhiệt hiệu quả, không gây ra bụi bẩn.
Ngăn chặn sự di chuyển của bụi
Với phương pháp sưởi bằng luồng không khí, bụi bẩn sẽ di chuyển theo luồng không khí đó. Chúng tôi sử dụng ánh sáng hồng ngoại bước sóng ngắn thay thế. Ánh sáng này truyền năng lượng trực tiếp vào các giọt nước trên bề mặt wafer. Quá trình sấy diễn ra rất nhanh. Và vì không có luồng không khí mạnh, nên bụi bẩn cũng không thể bay lên được.
Những chi tiết quan trọng trong việc lắp đặt
Việc lắp đặt các bóng đèn này vào thiết bị sấy không đơn giản chỉ là “cắm vào và sử dụng”. Bạn cần đảm bảo rằng công suất điện phù hợp. Các bóng đèn thạch anh này có công suất cao, vì vậy nguồn điện cung cấp cũng cần phải mạnh mẽ.
Bạn cũng cần kiểm tra kỹ hệ thống làm mát. Nếu không khí trong phòng sạch không được luân chuyển tốt, nhiệt độ cao sẽ làm biến dạng các bộ phận lắp đặt. Việc sửa chữa sau này sẽ rất khó khăn, vì vậy hãy đảm bảo luồng không khí được điều chỉnh tốt ngay từ đầu.
Chúng tôi thiết kế các bóng đèn sao cho chúng có kích thước phù hợp, để chúng có thể được lắp đặt dễ dàng trong các buồng chân không hoặc các ống sấy. Nhờ đó, nhiệt lượng được truyền trực tiếp đến bề mặt wafer, giúp quá trình sấy diễn ra nhanh hơn và hiệu quả hơn. Lưu ý: hãy đảm bảo rằng dây dẫn có khả năng chịu được tải nhiệt cao. Không ai muốn gặp phải tình trạng dây dẫn bị cháy cả.