Trong quy trình LPCVD, lò nung không có cơ hội để sửa chữa những sai số về nhiệt độ xảy ra trong quá trình hoạt động. Chỉ cần một sai số nhỏ thôi cũng đủ khiến lớp phim được tạo ra có độ dày không đồng đều, các điểm kết nối bị lệch vị trí, và dẫn đến việc phải vứt bỏ nhiều wafer không thể sử dụng được. Chúng tôi thiết kế bộ phận gia nhiệt sao cho có thể kiểm soát tốt nhiệt độ trong suốt quá trình sản xuất.
Những yếu tố quan trọng về mặt kỹ thuật Bộ phận gia nhiệt này dựa vào tính ổn định của thạch anh và khả năng phản ứng với ánh sáng hồng ngoại tần số cao để làm tăng nhiệt độ một cách nhanh chóng và đồng đều. Độ đồng đều về nhiệt độ trên các wafer nằm trong khoảng ±0,1°C. Các vật liệu được sử dụng đều phù hợp với môi trường phòng sạch, giúp giảm số lượng hạt bụi ở mức cần thiết. Việc loại bỏ hoàn toàn hạt bụi giúp bảo vệ cả buồng nung lẫn các wafer. Khả năng lặp lại quy trình sản xuất cũng được đảm bảo thông qua thiết kế của bộ phận gia nhiệt này, giúp mỗi lô sản phẩm đều đạt tiêu chuẩn.
Lý do tại sao bộ phận gia nhiệt này hiệu quả trong quy trình LPCVD thực tế Tính ổn định về nhiệt độ là yếu tố quan trọng quyết định chất lượng sản phẩm. Bộ phận gia nhiệt này có thể duy trì nhiệt độ ổn định trong suốt 7×24 giờ liên tục. Chúng tôi chưa từng gặp tình trạng ngừng máy do lỗi nhiệt độ nào cả. Các bước xử lý bằng hóa chất cũng diễn ra một cách chính xác hơn, giúp giảm sai số về độ dày lớp phim. Khả năng tăng nhiệt độ nhanh và mức tiêu thụ năng lượng thấp cũng giúp giảm chi phí sản xuất. Thời gian sử dụng lâu còn giúp giảm số lượng linh kiện thay thế và thời gian bảo trì, từ đó giảm chi phí trên mỗi wafer được xử lý.
Những điều cần lưu ý khi lắp đặt Khi lắp đặt, cần chú ý đến khoảng cách và lực kết nối các bộ phận. Hãy tuân thủ chính xác hướng dẫn trong bộ công cụ lắp đặt. Nếu các bộ phận không được lắp đặt đúng cách, có thể gây ra những điểm nóng, dẫn đến sai số về nhiệt độ. Bộ phận gia nhiệt này phù hợp với các nền tảng LPCVD tiêu chuẩn, nhưng cần kiểm tra kỹ hình dạng của buồng nung và tải nhiệt trước khi thay thế. Sau khi thay thế, cần tiến hành quá trình làm ấm lại để đảm bảo nhiệt độ ổn định. Nên thực hiện việc này trong quá trình bảo trì, để tránh phải xử lý sự cố ngay tại nơi sản xuất.