Hãy ngăn chặn việc lãng phí nhiệt lượng trên bề mặt các tấm wafer
Trong các nhà máy sản xuất chip, việc lãng phí năng lượng không chỉ là vấn đề về chi phí, mà còn gây ra nhiều phiền toái. Khi làm nóng các tấm wafer, chúng ta không chỉ muốn tạo ra nhiệt độ cao, mà còn muốn nhiệt đó được tập trung đúng vào vị trí cần thiết.
Đó là lý do tại sao chúng ta sử dụng các tấm phản xạ được phủ bằng vàng. Thay vì để bức xạ hồng ngoại đi vào thân máy, chúng ta dùng chúng để phản xạ lại ánh sáng hồng ngoại về phía tấm wafer.
Tại sao chọn vàng?
Hầu hết mọi người đều chọn aluminum để sử dụng, nhưng có một nhược điểm: aluminum hấp thụ quá nhiều năng lượng. Điều này giống như việc cố gắng đẩy quả bóng trở lại sau khi nó va vào khăn cọ vậy.
Vàng thì khác. Nó có khả năng phản xạ ánh sáng hồng ngoại rất tốt. Bằng cách sử dụng lớp vàng có độ tinh khiết cao, chúng ta có thể ngăn chặn sự mất mát năng lượng. Nhờ đó, chúng ta có thể đạt được nhiệt độ mong muốn nhanh hơn. Hơn nữa, chúng ta cũng không cần phải tăng điện áp quá cao, tránh việc làm hỏng các bóng đèn.
Việc tập trung nhiệt lượng
Đây là bước quan trọng nhất. Nếu chùm tia nhiệt không được tập trung đúng cách, thì kết quả sẽ không như mong muốn. Chúng ta sử dụng các hình dạng parabol hoặc elip để tập trung chùm tia hồng ngoại vào một khu vực có mật độ cao. Điều này giúp tạo ra sự chênh lệch nhiệt độ chính xác ở vị trí cần thiết.
Nhưng cũng cần phải cân bằng. Nếu hình dạng của các tấm phản xạ không chính xác, thì sẽ xuất hiện những điểm nóng, khiến tấm wafer bị biến dạng. Vàng giúp duy trì sự ổn định của nhiệt độ, giúp cho sự chênh lệch nhiệt độ giữa các vị trí trên tấm wafer nằm trong khoảng vài độ thôi. Thật tốt khi biết rằng nhiệt độ được phân bố đều trên bề mặt tấm wafer.
Thực tế
Cần phải thành thật rằng, vàng không phải là vật liệu rẻ. Chi phí sử dụng vàng cao hơn so với thép hoặc aluminum được mài bóng. Hơn nữa, vàng cũng rất kén chọn về mặt vệ sinh. Chỉ cần một vết dấu ngón tay hoặc vết dầu trên bề mặt vàng cũng có thể khiến nhiệt độ bị phân bố không đều. Điều này khiến việc làm nóng tấm wafer trở nên khó khăn hơn.
Đội ngũ bảo trì cần phải rất cẩn thận trong việc vệ sinh bề mặt vàng. Nếu họ không tuân theo các quy trình vệ sinh đúng cách, thì mọi nỗ lực để nâng cao hiệu suất sẽ trở nên vô ích.