手套箱红外加热元件

在晶圆厂车间，光刻胶的烘烤曲线不是建议——而是决定良率与报废的分界线。手套箱作业需要一个温度稳定且不会污染腔体的热源。我们的手套箱红外加热元件正是在这一限制条件下设计的。 以下是关键技术要点。 我们采用石英卤素短波红外发射器，因其响应速度快且光谱控制精确。实际表现为亚秒级热稳定时间，确保热预算保持...