钨丝石英灯

在光刻厂里，烘烤温度只要发生0.1℃的变化，就会导致光阻层的厚度发生变化，而这种变化会体现在成品率上。在光刻工艺中，温度控制是不可或缺的——它实际上就是工艺过程中的关键约束条件。我们设计的钨丝石英灯能够精确控制温度，从而确保工艺过程的重复性。 其核心原理在于：短波红外能量来自高纯度石英中的钨丝，这...