防止玻璃碎片飞溅：保护晶圆免受污染 在高效的生产线上，一旦灯管破裂，那可真是灾难性的后果。这不仅仅是设备停机的问题——当石英管破裂时，玻璃碎片和金属碎屑会撒落在晶圆上，导致整个批次的产品都变成废品。只要有一秒的时间出现问题，整个批次的产品都会报废。 我们花了大量时间来研究如何避免这种二次污染的发生...

在晶圆厂车间，流程很明确：光刻胶烘烤温度即使偏差0.2°C，也会导致关键尺寸控制失效，进而影响良率。你需要一个能连续重复执行的热处理步骤，小时小时地运行，同时不产生颗粒，也不引发计划外停机。 技术要点 我们为集成电路设计了这款紧凑型红外烘干机，采用短波发射器和石英光学元件。结果是快速且直接耦合的加...