为什么我们用黄金来加热硅片 在加热硅片时，任何没有用于加热目标的能量都是浪费。更糟糕的是，这些多余的 Heat会传导到机器的框架上，而这显然是我们不想看到的。 为了解决这个问题，我们将碳纤维红外灯与镀金反射器结合在一起使用。虽然铝制反射器也能起到一定的作用，但黄金的效率则高出一个层次。 秘诀就在于...

在光刻车间，光刻胶烘烤是热预算转化为线宽控制的关键环节。软烘温度漂移即使只有一度，也会影响溶剂的挥发效果。若硬烘过程中晶圆上的温度不均匀，则无法保证紧密的关键尺寸（CD）均匀性。这正是碳纳米管制造加热器发挥作用的地方。 技术关键点 我们基于短波红外线设计了碳纳米管发射器加热器。其加热速度快且温度保...