集成电路短波红外灯

在晶圆厂车间，你学得很快：0.1°C的烘烤温度漂移就可能导致关键尺寸偏移几个纳米，进而抵消数小时的光刻工作。当你进行光刻胶处理——软烘、硬烘、曝光后烘烤时——晶圆级的热均匀性不是“可有可无”。它是产率的关口。 以下是我们的依托。我们的短波红外（SWIR）灯能够快速将热量直接传递到堆栈中，并保持晶圆...