晶圆加工设备用温度传感器

别再把电能浪费在无效的加热上 在加热硅晶圆时，每一瓦特的能量浪费都意味着金钱的流失。问题在于：普通的红外线灯会将能量散射到各个方向，而在晶圆处理设备中，我们只关心那些能够作用于晶圆表面的热量。其余的能量都是无用的。为了解决这个问题，我们采用了镀金技术——这样，能量就不会漏出设备外壳，而是直接作用于...