IC专用紧凑型红外干燥机

在晶圆厂车间，流程很明确：光刻胶烘烤温度即使偏差0.2°C，也会导致关键尺寸控制失效，进而影响良率。你需要一个能连续重复执行的热处理步骤，小时小时地运行，同时不产生颗粒，也不引发计划外停机。 技术要点 我们为集成电路设计了这款紧凑型红外烘干机，采用短波发射器和石英光学元件。结果是快速且直接耦合的加...