碳化硅 SiC 炉灯

在芯片制造车间里，光刻胶的烘烤过程并非可选项，而是一项必须严格遵守的工艺要求。如果烘烤温度有2°C的波动，就会导致芯片的关键尺寸发生变化，从而引发缺陷，最终使芯片被当作废品处理。因此，炉子中的加热元件必须能够提供稳定且可重复的加热效果，这样才能确保每一批芯片的加工质量。 关键技术要点 我们设计的碳...