MEMS传感器晶圆烘干加热器

如何确保晶圆在干燥过程中保持清洁 在干燥MEMS传感器晶圆时，热量虽然很重要，但真正的难题在于颗粒物的污染。在100级洁净室中，哪怕有一小片旧的绝缘材料或一点金属氧化物，都可能毁掉整批产品。这不仅令人沮丧，还会带来高昂的成本。 因此，我们选择使用高纯度的合成石英红外灯。 “普通”加热方式的问题 大...