用于半导体的镀金红外灯
停止让设备过度受热 传统红外灯的问题在于:它们会将热量向各个方向散发。在半导体加工设备中,这无疑是个灾难——有一半的能量确实会照射到晶圆上,但另一半呢?它们只会让设备的内部结构过热。这不仅浪费了能源,还会使设备外壳变得过于炽热,甚至可能伤害人员。此外,为了防止设备过热,冷却风扇还得持续高负荷运转。...
用于半导体加热器的热电偶
为什么我们选择用红外线技术进行无铅材料干燥?
长期以来,我们一直依赖大型对流式烤箱来完成干燥工作,希望这样能得到最好的效果。但这种情况正在发生变化。现在,我们越来越多地转向使用红外线技术来进行干燥处理。这不仅仅是为了符合“环保”要求或避免使用铅元素,更重要的是因为红外线技术确实更有效。
想象一下对...
用于半导体加热器的特氟龙线
正确连接半导体加热器的导线 在半导体制造厂中,不存在“差不多就行”的说法。哪怕是微小的电泄漏也会导致一切失控。因此,我们选择使用镀有PTFE(特氟龙)涂层的导线来为这些加热器供电。这种材料能够承受极端的温度变化,而不会出现裂纹或释放有害气体。
可以说,导线不仅仅是传递电能的通道,它还是最后的防护屏...
半导体洁净室推车式加热器
如何防止洁净室中的加热器发生故障 在半导体制造厂工作时,加热器的作用不仅仅是保持晶圆的温度。更重要的是,它能够避免在洁净室内发生严重的电气故障。虽然我们确实需要让加热器达到特定的温度,但真正重要的是确保其电气系统的稳定性,这样才能让操作人员安心工作。
为什么我们要对每个部件进行测试 我们不会采用“...
节能型半导体加热器
如何保持化学浴的适宜温度(同时避免爆炸风险) 说实话,为半导体清洗液加热实在是一件棘手的事情。你得在两难之间找到平衡点:一方面,需要确保温度精确控制;另一方面,周围到处都是易爆的化学蒸汽,稍有火花就可能引发爆炸。 在这种环境下使用普通红外线灯不仅危险,还会带来诸多问题。因此,我们不再使用开放式加热...
PID控制型半导体加热器
在制造过程中,如果在干燥或烘烤阶段温度出现波动,那么这种波动不仅会体现在数据图表上,还会直接影响产品的良率。1摄氏度的温度变化就会导致关键尺寸发生纳米级的偏差;而脏污的加热器则可能释放出有害颗粒,从而破坏产品品质。为此,我们设计了采用PID控制技术的半导体加热器,从而从源头消除这类波动。
从技术角...