晶圆表面张力测量加热器

在光刻过程中，如果晶圆上出现0.5°C的温差，就足以破坏光刻质量的稳定性。无论是软烘烤还是硬烘烤，都无法消除这种不均匀的热分布——过去如此，将来也依然如此。我们设计了专门的晶圆表面温度测量装置，以此来消除这种温度波动，从而确保整个晶圆表面的温度保持在±0.1°C的范围内。 关键在于： 这种加热器专...