碳纳米管制造加热器

在光刻车间，光刻胶烘烤是热预算转化为线宽控制的关键环节。软烘温度漂移即使只有一度，也会影响溶剂的挥发效果。若硬烘过程中晶圆上的温度不均匀，则无法保证紧密的关键尺寸（CD）均匀性。这正是碳纳米管制造加热器发挥作用的地方。 技术关键点 我们基于短波红外线设计了碳纳米管发射器加热器。其加热速度快且温度保...