节能型晶圆加热器

防止玻璃碎片飞溅：保护晶圆加热器免于损坏 在高负荷的半导体生产环境中，红外灯的故障不仅仅是导致设备停机的原因，更是一场灾难。当石英管破裂时，它不仅停止工作，还会让玻璃碎片和微粒散落在晶圆上。一旦发生这种情况，整批晶圆就都报废了。因此，我们设计加热器时，就会想办法在问题发生之前就加以预防。 石英管为...