停止让设备过度受热
传统红外灯的问题在于：它们会将热量向各个方向散发。在半导体加工设备中，这无疑是个灾难——有一半的能量确实会照射到晶圆上，但另一半呢？它们只会让设备的内部结构过热。这不仅浪费了能源，还会使设备外壳变得过于炽热，甚至可能伤害人员。此外，为了防止设备过热，冷却风扇还得持续高负荷运转。
完美的解决方案
我们采用镀金石英外壳来解决这个问题。可以把黄金看作是反射红外辐射的“镜子”。这样一来，热量就不会从灯管的后部散发出去，而是被反射回正前方。这样，热量就能精确地传递到需要加热的位置。由于热量不会四处扩散，因此设备后部的温度也会保持较低。这样一来，就可以增加施加在晶圆上的功率，而不会让设备内部过热。
关于安装的注意事项
不能简单地将这些镀金石英外壳替换上去即可。因为镀金层会集中所有能量，所以焦点处的热量密度会远远高于普通灯管的情况。因此，需要调整PID控制器。如果直接将镀金灯管用在原本为普通灯管设计的系统中，而不调整功率设定，那么很可能会导致温度过高，从而损坏晶圆。
对实际操作人员而言的好处
对于负责维护这些设备的工程师来说，这无疑是个巨大的好处。再也不用担心面板被烧毁或电子设备过热的问题了。而且，由于热量被定向传递，因此设备的结构可以更加紧凑。无需再为避免设备过热而设置巨大的空气间隙。其实，这只是一个简单的转变：不再让设备本身过热，而是直接让产品受热。