Op de 300mm-lijn maken we al veel gebruik van het thermische budget dat beschikbaar is. Een verschil van een halve graad tijdens het ‘zachte’ bakproces is voldoende om het profiel van de fotoresist te verstoren. Onregelmatigheden tijdens het ‘harde’ bakproces treden op op plekken waar ze niet gewenst zijn – bijvoorbeeld aan de randen van het product. Dit soort afwijkingen vertraagt het proces alleen maar, maar leidt ook tot verspilde materialen. We gebruiken deze reservelampen van ASML om deze variabiliteit uit het proces te halen.
Wat technisch gezien belangrijk is: We passen het thermische gedrag van de ASML-machine aan op de uitstoot van kortegolfrichting en middenweggolfrichting, zodat dit past bij het bakproces van de fotoresist. Over het hele oppervlak van de wafer blijft de uniformiteit op ±0,1°C, en de herhaalbaarheid ligt op ±0,2°C per cyclus. Deze lampen kunnen worden gebruikt in schone kamers van klasse 1–100, zonder dat er particules worden veroorzaakt. Ze zijn ontworpen voor 24/7 gebruik – meer dan 5.000 uur lang – waarbij de uitstoot binnen 5% blijft. Omdat de spanningen en connectoren overeenkomen met die van de ASML-machine, kan de lamp gemakkelijk worden vervangen zonder dat er opnieuw kalibratie nodig is.
Waarom dit werkt: Het proces kan zo doorlopen. Met deze reservelampen blijven de temperaturen tijdens het ‘zachte’ en ‘harde’ bakproces stabiel. Hierdoor wordt de controle over de belangrijkste afmetingen verbeterd en kan het verwijderen van oneffenheden aan de randen nauwkeuriger worden gedaan. Bovendien levert dit minder herwerkwerk en minder verspilde materialen op. Ook wordt de energieverbruik verminderd, omdat de lamp snel het gewenste niveau bereikt en dit niveau behoudt, zonder dat er extra energie nodig is. De instructies voor het gebruik van de lampen zijn eenvoudig. Let er echter op dat de lamp schoon moet blijven en dat er rekening wordt gehouden met ESD-regels. Een vingerprints op de kwartsbekleding kan namelijk leiden tot ongewenste warmtepunten. Controleer altijd de firmware van je machine voordat je de lamp gebruikt – sommige oudere controllers hebben een kalibratievereiste om te passen op de nieuwe lampcurve. Zodra alles goed is ingesteld, kun je een kort testproces uitvoeren om te controleren of de dosis en temperatuur correct zijn. Vervolgens kan de reservelamp worden opgenomen in het onderhoudsplan.