Waarom we overstappen op infrarood voor het drogen en harden van halfgeleiders De oude manier van drogen en harden in halfgeleiderzuiverruimtes –...

Op de productielijn is het gebruik van een specifieke temperatuur voor het verhitten van de fotoresist geen aanbeveling – het is een vereiste. Een...

Op de productielijn krijgt een LPCVD-oven geen tweede kans als er sprake is van thermische afwijkingen. Eén enkele afwijking kan leiden tot een film...