Op de productieafdeling zorgt een verschil van 0,1°C in de baktemperatuur er voor dat het profiel van de fotorester zich met nanometers verandert. Dit verschil komt dan ook tot uiting in de resultaten die worden genoteerd. In de lithografie is het thermische beleid niet optioneel; het vormt juist de basis voor een correct proces. We hebben onze kwartslampen met wolfraamfilament zo ontworpen dat ze aan deze eisen voldoen. Hierdoor wordt er een consistente warmteoverdracht gerealiseerd, waarbij exacte controle over de temperatuur vereist is.
De korte golflengten van het infrarode licht komen voort uit het wolfraamfilament dat zich in het hoge-puurheidskwarts bevindt. Hierdoor wordt er snel en efficiënt warmte overgedragen, met nauwkeurige controle over het spectraal. In de hete zone blijft de uniformiteit op het niveau van ±0,1°C. De temperatuur kan ook zeer snel worden aangepast. De lampen zijn ontworpen voor gebruik in schone ruimtes van klasse 1–100. Er worden materialen gebruikt die zorgen voor een minimum aan vuil en besmetting. Deze lampen kunnen 24/7 draaien; we hebben ze al meer dan 5.000 uur zien werken, zonder dat er minder dan 5% verlies in prestaties optreedt.
Het is belangrijk om rekening te houden met de temperatuur op de bakstationen. Een te lage of te hoge temperatuur heeft invloed op het profiel van de fotorester en de hechting ervan. Te lage temperaturen zorgen ervoor dat de oplossing in de film blijft zitten, terwijl te hoge temperaturen het profiel van de film verstoren. Onze lampen zorgen ervoor dat de temperatuur constant blijft, zodat de cruciale dimensies en hoeken steeds binnen de gewenste grenzen blijven.
Het voordeel is dat er minder afval ontstaat en minder producten opnieuw moeten worden verwerkt. Er wordt ook minder energie verbruikt, omdat de warmteoverdracht efficiënt verloopt. Bovendien wordt de levensduur van de lampen langer, waardoor de tijd die nodig is om ze te vervangen korter wordt.
De installatie is simpel, maar het is wel belangrijk om zorgvuldig te werk te gaan. Pas de lampen aan op de geometrie van de reflectoren en stel de PID-knoppen van de thermische regelaar in om hotspots te voorkomen. Controleer ook of de spanning en de verbindingen compatibel zijn met de oven of coatingapparatuur. Zorg er bovendien voor dat de afvoerweg schoon en droog is.
Behandel het kwarts net zoals een proceskamer: gebruik handschoenen, zorg dat er geen vingerafdrukken op komen en controleer het bakprofiel met een gekalibreerde chip voordat je het product vrijgeeft.