ASML lithografielamp reserveonderdeel
Op de 300mm-lijn maken we al veel gebruik van het thermische budget dat beschikbaar is. Een verschil van een halve graad tijdens het ‘zachte’...
Onderdelen voor waferbewerking online
Op een productielijn met een capaciteit van 300 mm kun je geen fouten tolereren tijdens het zacht bakken van de fotoreceptor of wanneer er te veel...