Op een productielijn met een capaciteit van 300 mm kun je geen fouten tolereren tijdens het zacht bakken van de fotoreceptor of wanneer er te veel deeltjes vrijkomen tijdens het drogen van de wafer. Wanneer de thermische mogelijkheden beperkt zijn, is het verwarmingselement geen simpel onderdeel van de apparatuur – het vormt zelfs een essentieel onderdeel van het proces. Onze online infraroodverwarmingmodules zijn speciaal ontworpen voor deze situaties. Ze zorgen voor nauwkeurige temperatuurregeling, zonder dat er nog gokwerk nodig is.
Wat technisch gezien belangrijk is We maken gebruik van kortegolfinfraroodlicht om snel en rechtstreeks energie over te dragen. Hierdoor wordt er een uniforme temperatuur bereikt over de gehele oppervlakte van de wafer, met een variatie van slechts ±0,1°C. Dit is precies wat nodig is voor het zacht en hard bakken van de fotoreceptor. De emitters genereren geen deeltjes en kunnen worden gebruikt in omgevingen van klasse 1 tot klasse 100. De uitgangstemperatuur blijft stabiel gedurende meer dan 5.000 uur, zodat de reproduceerbaarheid behouden blijft en de kwaliteit van de wafer niet verslechtert naarmate de lamp ouder wordt.
Waarom het werkt waar het nodig is In lithografiecellen zorgt het module ervoor dat de temperatuur tijdens het zacht bakken constant blijft, zodat de verdamping van oplosmiddelen overeenkomt met de specificaties van de fabrikant van de fotoreceptor. Tijdens het drogen zorgt het module ervoor dat er geen ‘watermerken’ ontstaan, waardoor er minder herwerking en afval is. De energieverbruik neemt af, omdat de emitters alleen het gewenste gebied verwarmen, en niet de hele kamer.
En wanneer je wilt dat de productielijn doorloopt, zijn er online vervangende modules beschikbaar. De vervangende modules passen gemakkelijk in de bestaande apparatuur, dankzij de specifieke connectors en kalibratiefailen. Hierdoor kan de thermische prestatie weer worden hersteld, zonder dat het hele proces opnieuw moet worden gevalideerd.
Wat je moet meenemen in overweging Infraroodverwarming vereist een goed zichtlijn tussen de emitters en de wafer. Plaats de emitters dus op de juiste plekken, zodat er een goede zichtlijn is. Voer vervolgens een test uit om de gewenste temperatuur te bepalen. Er zal eerst een korte opwarmtijd zijn, maar daarna blijft de temperatuur constant. Goede temperatuurregeling is cruciaal voor een stabiel proces.