真空室红外加热器
停止在真空室中浪费热量 说实话,让能量在真空室中白白浪费,本身就是一种糟糕的设计。当对硅片进行加热时,每一瓦特的能量如果无法被有效利用,那都是浪费。这些能量只会用来加热真空室的墙壁,迫使冷却系统加倍努力工作,而这一切都是毫无必要的。因此,我们才使用镀金反射器——这样就能确保热量被正确地引导到需要的...
可与真空环境配合使用的红外加热器
适用于真空环境的红外线加热器:为何晶圆制造厂仍选择我们的R7s卤素灯,以实现0.1°C的精确温度控制?
我们设计这款适用于真空环境的红外线加热器的目的很简单:确保腔体内的温度始终稳定不变。没有温度波动,也没有漏气问题,只有精准且可重复的温度控制效果。
如果你们从事晶圆加工工作,那么应该很清楚温度控...