На лінії з довжиною хвилі 300 мм ми вже сильно стикаємося з проблемами, пов’язаними з термічними умовами процесу. Навіть незначна зміна температури під час процедури випалювання фотополімеру може призвести до зміни профілю його розташування на платі. Крім того, нерівномірність температури під час процедури випалювання призводить до утворення залишків матеріалу на краях плати. Така ситуація не лише уповільнює процес виробництва, але й призводить до втрати продукції. Ми використовуємо запасні лампи від ASML для того, щоб усунути ці проблеми.
Що є важливим з технічної точки зору
Ми підлаштовуємо термічні параметри ламп ASML під умови користування на коротких та середніх хвилях, що є необхідним для ефективного випалювання фотополімеру. На поверхні плати рівномірність температури становить ±0,1°C, а повторюваність результатів – ±0,2°C від одного циклу до іншого. Ці лампи можуть працювати в чистих приміщеннях класу 1–100 без утворення домішок; це підтверджується безпосередньо під час експлуатації. Вони розраховані на постійну роботу протягом 5,000 годин зі збереженням параметрів випромінювання в межах 5%. Крім того, оскільки напруги та раз’єми ламп відповідають стандартам обладнання ASML, їх можна замінити без необхідності перепідготовки обладнання.
Ось чому це ефективно на практиці:
Лінія продовжує працювати без перерв. Завдяки цим запасним лампам температура під час процедури випалювання залишається стабільною, що сприяє кращому контролю критичних параметрів та усуненню залишків матеріалу на краях плати. Краща термічна повторюваність означає менше необхідності в переробці продукції, менше втрат та швидше повернення до стабільного стану після заміни лампи. Крім того, скорочується споживання енергії, оскільки лампа швидко досягає потрібної температури та підтримує її з мінімальними відхиленнями.
Кілька практичних порад:
Встановлення лампи є простим, але необхідно дотримуватися правил чистоти та уникати впливу електростатичного заряду. Відбиток пальця на кварцовій оболонці лампи може призвести до утворення „гарячих точок“. Перед початком роботи необхідно перевірити програмне забезпечення обладнання – деякі старі контролери потребують коригування параметрів для коректної роботи з новою лампою. Після налаштувань необхідно провести тестовий цикл для перевірки параметрів випромінювання, а потім включити цю лампу до регулярного графіка обслуговування.