На лінії з довжиною хвилі 300 мм ми вже сильно стикаємося з проблемами, пов’язаними з термічними умовами процесу. Навіть незначна зміна температури...

На лінії виробництва діаметром 300 мм неможливо допустити жодних відхилень під час процедури пом’якшення фоторезисту чи під час сушіння пластин. Коли...