На виробничій лінії навіть зміна температури на 0,1°C може спричинити змішування профілю фоточутливого шару на рівні кількох нанометрів – а це впливає на якість продукції. У процесі літографії тепловий баланс є обов’язковою умовою; це саме та умова, яка визначає ефективність процесу. Ми створили кварцові лампи з вольфрамовим філаментом таким чином, щоб вони дотримувалися цих умов, забезпечуючи стабільне нагрівання в тих місцях, де це необхідно для досягнення точності процесу.
Коротковолнова інфрачервона енергія походить від вольфрамового філамента, розташованого всередині кварцу високої чистоти. Це забезпечує швидке нагрівання з точним контролем спектру. У зоні нагрівання однорідність температури на рівні пластини становить ±0,1°C, а значення температури коригується з часом реакції менше секунди. Корпус лампи розроблений для роботи в умовах чистої кімнати класу 1–100; використовуються матеріали, які запобігають утворенню частинок та забрудненню. Ці лампи працюють без перерви 24/7; ми бачили, що вони можуть працювати понад 5 000 годин зі зниженням продуктивності менше ніж на 5%.
Це особливо важливо на станції нагрівання. Правильна температура нагрівання впливає на профіль розчинника фоточутливого шару та на його адгезію до поверхні. Якщо температура занадто низька, розчинник залишається в шарі; якщо занадто висока – профіль шару змінюється. Наші лампи забезпечують стабільну температуру, тож критичні параметри процесу залишаються в межах допусків з кожним циклом.
Результатом є якісний результат обробки, менше відходів та менше необхідності в повторній обробці. Також економиться енергія, оскільки нагрів відбувається шляхом випромінювання, що є ефективним способом. Довгий термін служби ламп дозволяє подовжувати інтервали їх заміни, що скорочує час простою обладнання.
Встановлення лампи є простим, але все одно потрібно бути обережним. Необхідно підібрати лампу відповідно до геометрії відбивача та параметрів контролера температури, щоб уникнути місць з надмірно високою температурою. Також потрібно перевірити сумісність напруги та з’єднувачів з обладнанням виробника, а також переконатися, що канал відведення повітря є чистим та сухим.
Потрібно ставитися до кварцу як до частини процесу обробки. Використовуйте рукавички, щоб уникнути залишення відбитків пальців, та перевіряйте профіль нагрівання за допомогою каліброваної пластини перед початком процесу обробки.