На виробничій лінії процес висушування фотополімеру є обов’язковим етапом – це не просто рекомендація. Зміна температури на 2°C під час процесу висушування може призвести до зміни критичних параметрів, виникнення дефектів та потрапляння пластин у смітник. Лампа печі повинна забезпечувати стабільне тепло, яке можна передбачити та повторювати з кожною зміною.
Що є важливим у конструкції лампи Ми створили лампу з матеріалу SiC, яка використовує короткочастотне інфрачервоне світло для швидкого нагрівання поверхні пластини. Рівномірність температури на поверхні пластини контролюється на рівні ±0,1°C. Корпус лампи придатний для використання у чистих приміщеннях, він відповідає стандартам ISO Class 1–100. Ми використовуємо матеріали з низьким рівнем випаровування та таку конструкцію, яка запобігає утворенню частинок. Нульове утворення частинок – це не просто слоган; ми перевіряємо це за допомогою приладів для вимірювання під час тестування. Це дає можливість отримувати стабільні параметри процесу, точніше контролювати процес та забезпечувати однакову якість продукту з кожної партії.
Чому ця лампа підходить для літографії та обробки фотополімеру У процесах літографії та обробки фотополімеру дуже важлива стабільність температури. Лампа повинна швидко досягати заданої температури, підтримувати її без змін та ефективно охолоджуватися, щоб наступні етапи процесу не постраждали. Лампа з матеріалу SiC скорочує час нагрівання, зменшує значення теплової затримки та забезпечує стабільність її роботи протягом усього часу. У практиці це означає менше необхідності переробки продукції, вищий вихід готової продукції з першої спроби та можливість планування часу виконання процесу. Також зменшується споживання енергії, оскільки енергія перетворюється на тепло без значних втрат. Довгий термін служби лампи також дозволяє уникати перерв у роботі заводу через необхідність технічного обслуговування.
Практичні аспекти, які потрібно врахувати під час встановлення Під час встановлення лампи необхідно дотримуватися геометрії отворів печі та переконатися в правильності електричного з’єднання – напруги, типу з’єднувача та системи заземлення. Це дозволить уникнути проблем з нерівномірним нагріванням чи несправностей у роботі лампи. Лампа працює найкраще, коли геометрія відбивача в печі відповідає профілю випромінювання лампи. Несправна геометрія може призвести до нерівномірного нагрівання. Необхідно провести короткий тестовий запуск, щоб визначити оптимальні параметри процесу. Після цього лампа може працювати 24/7 з мінімальними змінами параметрів. Однак все одно необхідно періодично перевіряти її параметри, щоб процес залишався в рамках стандартів.