На виробничій лінії печа LPCVD не має жодних шансів на компенсацію термічних відхилень. Одна така проблема може призвести до утворення шару плівки неправильної товщини, до того, що домішки будуть розташовуватися не там, де це потрібно, а також до появи купи відходів у вигляді ваферів. Ми створили елемент нагріву, який дозволяє підтримувати стабільну температуру під час кожного циклу обробки.
Що є важливим з технічної точки зору
Елемент нагріву ґрунтується на стабільності кварцу та його реакції на короткохвильове інфрачервоне випромінювання, що дозволяє швидко та рівномірно нагріти поверхню вафера. Рівномірність температури на всій поверхні вафера становить ±0,1°C. Матеріали, які використовуються, сумісні з умовами чистої кімнати, що дозволяє зменшити кількість частинок у повітрі – це важливо для умов класу 1–100. Відсутність частинок захищає як саму печь, так і вафери. Повторюваність результатів є ключовою характеристикою цього пристрою – кожна партія продукції відповідає стандартам.
Чому цей пристрій ефективний у реальних умовах LPCVD
Стабільність температури є ключовим фактором для отримання якісної продукції. Елемент нагріву зберігає задану температуру протягом 7×24 годин безперервної роботи. У нас не було жодних перерв у роботі лінії. Етапи обробки фоторезисту відбуваються з високою точністю, що зменшує похибки та покращує якість продукції. Швидке нагрівання та низькі втрати енергії також сприяють економії енергії. Довший термін служби означає меншу кількість запасних частин та менше часу на технічне обслуговування, що знижує вартість обробленої вафери.
Що потрібно правильно налаштувати під час встановлення
Під час встановлення важливо дотримуватися правил щодо відстаней та крутного моменту закріплення пристрою – необхідно слідувати інструкціям, які йдуть у комплекті з печею. Неправильне встановлення може призвести до появи „гарячих точок“, що, у свою чергу, призведе до відхилень у параметрах продукції. Елемент нагріву підходить для стандартних платформ LPCVD, але перед заміною необхідно перевірити геометрію платформи та теплове навантаження. Після заміни необхідно провести процедуру розігріву для повторного стабілізування параметрів пристрою. Це слід робити під час технічного обслуговування, щоб уникнути проблем під час роботи печі.