На лінії виробництва діаметром 300 мм неможливо допустити жодних відхилень під час процедури пом’якшення фоторезисту чи під час сушіння пластин. Коли термальний бюджет є обмеженим, елементи нагріву є не просто жорстким обладнанням – вони є частиною самого процесу. Наші онлайн-модулі інфрачервоного нагріву створені саме для таких ситуацій: вони забезпечують точний контроль температури без необхідності припущень.
Що є важливим з технічної точки зору
Ми використовуємо короткохвильове інфрачервоне випромінювання для швидкої та прямої передачі енергії – час реакції становить кілька секунд. Це забезпечує однорідність температури на всій поверхні пластини при похибці до ±0,1°C – саме те, що потрібно для процедур пом’якшення та сушіння фоторезисту. Емітери не створюють жодних частинок пилу; вони підходять для роботи в умовах від класу 1 до класу 100. Рівень вихідної потужності залишається стабільним протягом понад 5 000 годин, тож точність контролю температури не змінюється з часом.
Чому це ефективно саме там, де це потрібно
У літографічних установках модулі забезпечують точний контроль температури під час процедури пом’якшення фоторезисту, що дозволяє евапорації розчинників відбуватися відповідно до специфікацій виробника фоторезисту, а не під впливом змін температури навколишнього середовища. Під час сушіння модулі забезпечують правильне нагрівання без утворення „водних слідів“, що скорочує кількість переробок та відходів. Використання енергії зменшується, оскільки емітери нагрівають лише потрібну ділянку, а не всю камеру.
А коли потрібно продовжувати роботу лінії, є можливість використання запасних модулів. Їх можна встановити на місце існуючих елементів нагріву за допомогою спеціальних з’єднувачів та файлів для калібрування. Таким чином можна відновити ефективність процесу без необхідності повторної налаштування всього обладнання.
Що потрібно враховувати під час планування
Інфрачервоне випромінювання передається лише в лінійному напрямку, тож геометрія розташування емітерів та їх випромінювальна здатність мають велике значення. необхідно правильно розташувати емітери та визначити оптимальний кут огляду для вашої пластини. Після цього проводиться тестування для перевірки точності контролю температури. Очікується короткий час на досягнення стабільної температури – після цього її можна підтримувати на стабільному рівні. Точний контроль температури є ключем до стабільного процесу виробництва.