ウェーハを無駄にしないために
正直言って、たった一つのランプが故障してしまうだけで、大量のウェーハが台無しになってしまうのは最悪のことです。
高負荷状態で赤外線管が故障すると、それは単なる「故障」ではありません。かえって大混乱を招きます。石英の破片やハロゲンガスが基板に降り注ぎ、本来避けられるはずの二次的な汚染が発生します。
だからこそ、私たちは特別な方法で赤外線ランプを設計したのです。このようにすれば、「故障」によって一日が台無しになることはありません。
内部の汚染を防ぐ
まず、高純度の融液石英を使用しますが、その壁の厚さを厚くしています。なぜでしょうか？急激な加熱や冷却によってガラスに大きな応力がかかるからです。「破壊効果」を防ぐために、保護用のコーティングを施しています。これはまるで安全ネットのようなものです。フィラメントが燃え尽きたり、ガラスが割れたりしても、破片はその場に留まります。ウェーハにガラスの粉が付着することはありません。パニックになる必要もありません。
また、シールも重要です。石英管が電極に接続されている部分が通常、問題が起きやすい場所です。私たちは強化されたシール技術を用いて、内部の圧力を安定させ、ガスが本来あるべき場所に留まるようにしています。
熱対策
バイオセンサー層を硬化させるには多くの熱が必要ですが、その熱はランプに大きなダメージを与えます。
重要なのはバランスです。電圧やワット数を調整することで、局所的に過度に熱くなるのを防ぎます。もし管の一部が他の部分よりもずっと熱くなると、ガラスが不均等に膨張し、応力による亀裂が生じます。
ひとつのヒント：冷却システムを確認してください。空気の流れが悪くなると、ハウジングが過熱し、石英が本来よりも早く劣化してしまいます。
簡単な交換とメンテナンス
私たちは標準的なコネクタを使用しています。メンテナンスの際にわざわざ1時間もかけて配線を調整するのは面倒ですからね。これらはそのまま取り替えられます。
ただし、コネクタがしっかりと挿入されているかを確認してください。もし緩んでいると、電気的な放電が起こり、ランプがすぐに壊れてしまいます。小さなことですが、重要です。
500時間ごとに接点の状態をチェックしてください。2秒で済みますが、シフト中に予期せずランプが壊れるのを防げます。