ファブフロアでは基本がわかっているはずだ。たとえフォトレジストのベーク温度が0.2℃ズレるだけで、クリティカルディメンションコントロールがオフスペックとなり、歩留まりに影響を与えてしまう。パーティクルの発生や予期せぬ稼働停止を伴わず、繰り返し安定した熱処理が必要だ。 技術的なポイント 当社はIC向...

ファブフロアでは素早く学ぶ：ベイク温度の0.1°Cのずれが、重要寸法をナノメートル単位で変動させ、数時間に及ぶリソグラフィ工程を無駄にすることがある。フォトレジスト処理（ソフトベイク、ハードベイク、ポストエクスポージャーベイク）を運用する際、ウェハーレベルの熱均一性は「あってもいいもの」ではなく、...