LPCVD炉の加熱素子

製造現場では、LPCVD炉には熱的なずれを繰り返す余裕はありません。一度でもずれが生じると、膜の厚みが均一でなくなったり、ドーピングされた部分が正しい位置に形成されなかったりして、結果として廃棄されるウェーハが増えてしまいます。私たちは、毎回同じ品質を維持するために、加熱要素をしっかりと設計しまし...