なぜ金コーティングされた反射板がIR装置にとって重要なのか 半導体ウェーハを加工する際、最も重要なのは、電力を無駄にしないように、できるだけ多くの熱をウェーハの表面に伝えることです。 多くの人々は、通常のアルミニウム製の反射板から始めます。それでも十分ですが、アルミニウムは赤外線エネルギーを過剰に...

ウェーハの表面で熱が無駄に散逸するのを防ぎましょう。 製造プロセスにおいて、エネルギーの無駄遣いは単なるコストの問題ではありません。それは大きな悩みの種です。ウェーハを加熱する際には、単に「熱くする」だけでは不十分です。熱が正確に必要な場所に届くことが重要です。 そのため、私たちは金でコーティング...

IRランプがクリーンルームを台無しにするのをやめましょう。 クラス100のクリーンルームを運用しているなら、本来あってはならない場所に微粒子が存在するという悪夢をご存知でしょう。わずかなゴミでも、製品全体が台無しになってしまいます。 問題は、一般的なIRランプはこのような状況に対応していないことで...