バイオセンサーを常に清潔に保つために
クラス100のクリーンルームで作業するときは、その規則を守らなければなりません。ほんのわずかなほこりさえも——たとえそれが電極から飛び散った微細な破片であっても——全体の製品が廃棄処分になってしまいます。本当にイライラしますよね。ほとんどの加熱素子は、安定して動作するための設計にはなっていないのです。加熱時にガスが放出されたり、粒子が飛び散ったりするのです。
だからこそ、私たちは高純度の合成石英製の赤外線ランプを使用しているのです。
石英が効果的な理由
実は、私たちが使用しているのは、非常に純度の高い融解シリカ製の石英です。この素材は、高温になっても不快な揮発性有機化合物（VOC）を放出しないのです。
時間が経つにつれて剥がれやすい金属製のヒーターとは異なり、これらの石英管は滑らかな状態を保ちます。加熱素子は内部にしっかりと封じ込められているため、熱は放射によって伝わります。ヒーターがセンサーの表面に直接触れないため、物理的な汚染の心配もありません。これは、よりクリーンな作業方法です。
スピードと熱量
これらのランプは、集中した短波長の赤外線を利用しています。つまり、目標温度に到達するのに数秒しかかからないのです。
とても速いのです。そして、ウェハーが加熱される時間が短くなるほど、空気中の汚染物質がウェハーに付着する時間も短くなります。
ただし、注意点があります。パワー密度には注意してください。
これらのランプは、狭い空間に大量の熱を集中させます。もし筐体がそのような負荷に耐えられない場合、取り付けブラケットが変形したり、電子部品が過熱したりする可能性があります。そのため、ランプの周囲の空気を安定させるために、何らかの冷却装置を設置することをお勧めします。
設置とメンテナンス
これらのランプは標準的なコネクタを備えているので、既存の装置に簡単に取り付けることができます。これにより、停止時間が減り、作業の進行が早くなります。
すべてを「クリーンルームグレード」に保つためには、シンプルなルーチンを守るだけです。清掃には電子用のイソプロピルアルコールを使用しましょう。そして、絶対に研磨材を使わないでください。
石英に少しでも傷がつくと、応力の源となります。熱サイクルを繰り返すと、その傷が破裂の原因になることがあります。プロジェクトの最中にこんなことが起きるのは望ましくありません。