왜 UHP 적외선 경화가 지구와 공정에 이로운가요?
반도체 제조 공장에서 “청결”은 단순히 목표가 아니라, 모든 것을 결정하는 핵심 요소입니다. 웨이퍼에 오염물질이 남아 있으면 문제가 생깁니다.
오랫동안 우리는 대형 대류식 오븐을 사용해 왔습니다. 하지만 솔직히 말해서, 이러한 오븐들은 부피가 크고 전력 소모도 많으며, 더욱이 화학 용매를 사용해야 하는데, 이는 요즘으로서는 바람직하지 않습니다. 그래서 우리는 UHP(초고순도) 적외선 램프를 사용하기 시작했습니다. 이 방식은 더 깨끗한 작업 환경을 제공하며, 탄소 배출량도 줄여줍니다. 또한, “무연” 요건을 충족시키는 데에도 도움이 됩니다.
복사열의 힘
강제 공기 순환 시스템의 경우, 부품 주변의 공기를 가열하는 데 많은 에너지가 낭비됩니다. 반면 UHP 램프는 그런 수고를 하지 않습니다. 전자파를 사용하여 열을 직접 기판에 전달합니다.
우리는 이 램프에 고순도 석영관을 사용합니다. 왜냐하면 금속 이온이나 오염물질이 웨이퍼에 침투하는 것을 막아야 하기 때문입니다. 이것이야말로 높은 생산 속도를 유지하면서도 청정한 작업 환경을 유지할 수 있는 유일한 방법입니다.
속도, 효율, 그리고 주의사항
우리는 램프의 와트당 성능을 높게 설계합니다. 왜냐하면 속도가 가장 중요하기 때문입니다. 이렇게 하면 경화 과정이 분에서 초로 단축됩니다. 정말 빠릅니다. 그리고 이는 에너지 비용에도 큰 영향을 미칩니다.
하지만 주의해야 할 점이 있습니다. 램프의 냉각 시스템을 잘 관리해야 합니다. 램프의 출력에 맞게 공기 흐름을 조절하지 않으면 램프가 과열되어 필라멘트가 너무 빨리 손상될 수 있습니다. 이는 강력한 도구이지만, 올바르게 사용해야 합니다.
지구와 공정에 더 좋은 방법
무연 경화 방식을 사용하려면 더 높은 온도와 더 정확한 타이밍이 필요합니다. 이때 적외선이 큰 역할을 합니다. 파장을 조절함으로써 포토레지스트나 접착제에 필요한 조건을 정확하게 맞출 수 있습니다.
기계의 본체나 방 안의 공기에 열이 낭비되는 일도 없습니다. 오직 목표물에만 열이 전달됩니다. 게다가 이 램프들은 크고 무거운 오븐들을 대체할 수 있는 훌륭한 대안입니다. 공간도 훨씬 적게 차지하며, 거의 즉시 작동합니다. 더 이상 큰 오븐이 예열되기를 기다릴 필요도 없습니다. VOC가 함유된 용매를 사용하지 않으면, 생산 속도를 늦추지 않으면서도 환경 규정을 준수할 수 있습니다. 이것이 바로 더 스마트한 방식입니다.