장비를 공간 히터로 전락시키는 것을 그만두세요.
대부분의 가열 요소들은 에너지를 사방으로 방출합니다. 클린룸에서는 이런 상황이 재앙과 같습니다. 열을 사방으로 방출하는 램프를 사용한다면, 장비의 내부 벽면이 그 열을 모두 흡수하게 됩니다.
그 결과, 장비의 외관이 매우 뜨거워지고, 열원 근처에 있는 섬세한 부품들이 손상될 위험이 있습니다. 정말 엉망인 상황입니다.
열 누설을 해결하는 방법
이 문제를 해결하기 위해서는 방향성이 있는 적외선 램프를 사용해야 합니다. 원형으로 열을 방출하는 램프와 달리, 이 램프들은 반사판이나 특수 코팅을 사용하여 적외선 에너지를 특정 방향으로 보냅니다. 마치 손전등과 같은 원리죠. 열을 필요한 곳, 즉 작업물에 집중시킬 수 있으며, 장비의 외부는 너무 뜨거워지지 않습니다. 그렇게 되면 웨이퍼도 적절한 온도를 유지할 수 있고, 장비의 외관도 거대한 라디에이터가 되는 것을 막을 수 있습니다.
안전도 중요합니다
이것은 단순히 효율성의 문제가 아닙니다. 기계를 조작하는 사람의 안전과도 관련이 있습니다. 만약 기술자가 작업 중에 기계 내부로 손을 넣어야 한다면, 장비에서 나오는 열로 인해 화상을 입을 위험이 있습니다. 방향성이 있는 램프를 사용하면 기계 내부의 공기가 훨씬 더 시원하게 유지되어 더 안전해집니다.
단점도 있습니다
방향성이 있는 램프는 훌륭하지만, 사용하기가 까다롭습니다. 그냥 설치해두기만 하면 안 됩니다. 정렬이 조금만 틀어져도 부품의 특정 부분이 차가워질 수 있습니다. 마운팅 브래킷도 반드시 견고해야 합니다. 진동이 있거나 각도가 변하면 열이 목표 지점에서 벗어날 수 있습니다. 또한, 안정적인 전력 공급도 필요합니다. 전력의 변동으로 인해 온도가 오르내릴 수 있으므로, PID 설정을 잘 조절해야 합니다. 그렇게 하면 안정적이고 신뢰할 수 있는 결과를 얻을 수 있습니다.