فاصله ایمن برای گرم کردن ویفر
چرا ما به استفاده از روش خشکسازی با تابش مادون قرمز برای ویفرها روی آوردهایم؟
در حال حاضر، تلاشهای زیادی برای استفاده از روش خشکسازی با تابش...
سنسور مادون قرمز با دقت بالا برای ویفر
در کارخانههای تولید، هدر رفتن انرژی فقط مشکل مربوط به بودجه نیست؛ بلکه یک مشکل جدی است. وقتی که سعی میکنیم ویفرها را گرم کنیم، نمیخواهیم که انرژی...
گرمکن ویفر با مصرف انرژی کم
جلوگیری از شکستن لولههای کوارتزی: حفظ عملکرد صحیح هیترها
در سیستمهای نیمههادی با بار بالا، خرابی لامپهای مادون قرمز فقط باعث توقف فعالیت دستگاه...
حسگر دما برای ابزار ویفر
دیگر اجازه ندهید انرژی بیهوده هدر برود!
وقتی که ویفرهای سیلیکونی را گرم میکنید، هر وات انرژی اضافی، در واقع پولی است که از دست میرود.
مشکل اینجاست:...
هیتر خشککن ویفر سنسور MEMS
حفظ تمیزی ورقههای سنسور MEMS در حین خشک کردن
هنگام خشک کردن ورقههای سنسور MEMS، گرما تنها نیمی از مشکلات را حل میکند؛ مشکل واقعی، ریختن ذرات به...
رفلکتور برای لامپ خشککن ویفر
لامپهای مادون قرمز کوارتز با خلوص بالا: گرمای پاکیزهای که برای اتاقهای تمیز درجه ۱۰۰ نیاز دارید
اگر فرآیند پخت وافرها را در اتاقهای تمیز درجه ۱۰۰...
هیتر برای اندازهگیری کشش سطحی ویفر
در فرآیند لیتوگرافی، وجود نقاط داغ با دمای ۰.۵ درجه سانتیگراد روی سطح ویفر، میتواند به طور مخفیانه باعث از بین رفتن حاشیههای لازم برای کنترل کیفیت...
قطعات یدکی فرآوری ویفر آنلاین
در خطوط تولید با طول ۳۰۰ میلیمتر، نمیتوان اجازه داد که در فرآیند گرم کردن رزیستورها، اختلافاتی رخ دهد؛ همچنین نباید در حین خشک کردن ویفرها، تعداد...
لامپ گرمکننده حذف رطوبت ویفر
در خط 300 mm، ویفر زمانی که هنوز لایه نازکی از رطوبت سطحی را به همراه دارد، به سمت bake track حرکت میکند. اگر لامپ نتواند این آب را سریع و یکنواخت...