در خطوط تولید با طول ۳۰۰ میلیمتر، نمیتوان اجازه داد که در فرآیند گرم کردن رزیستورها، اختلافاتی رخ دهد؛ همچنین نباید در حین خشک کردن ویفرها، تعداد ذرات موجود در آنها افزایش یابد. وقتی که منابع حرارتی محدود هستند، عنصر گرمایشی صرفاً یک قطعه سختافزاری نیست؛ بلکه خودش بخشی از فرآیند تولید است. ماژولهای گرمایشی مادون قرمز آنلاین ما، برای چنین شرایطی طراحی شدهاند؛ این ماژولها امکان کنترل دقیق دما را فراهم میکنند.
از نظر فنی، چه چیزهایی اهمیت دارد؟ ما از موجهای مادون قرمز کوتاه برای انتقال سریع انرژی استفاده میکنیم؛ این کار باعث میشود که دمای ویفرها در محدوده ±۰.۱ درجه سانتیگراد باقی بماند. این موضوع دقیقاً همان چیزی است که برای فرآیندهای گرم کردن رزیستورها لازم است. این ماژولها عاری از ذرات هستند؛ همچنین میتوان آنها را در محیطهایی با سطح پاکیزگی از کلاس ۱ تا کلاس ۱۰۰ استفاده کرد. خروجی انرژی این ماژولها در طول بیش از ۵٬۰۰۰ ساعت استابیل باقی میماند؛ بنابراین قابلیت تکرارپذیری فرآیند حفظ میشود و کیفیت ویفرها با گذشت زمان تغییر نمیکند.
چرا این روش در جاهایی که اهمیت دارد، مؤثر است؟ در دستگاههای لیتوگرافی، این ماژولها دمای لازم برای گرم کردن رزیستورها را تنظیم میکنند؛ به این ترتیب، تبخیر حلالها مطابق با استانداردهای تولیدکننده رزیستورها انجام میشود. در فرآیند خشک کردن نیز، این ماژولها باعث میشوند که هیچ اثری از آب روی ویفرها باقی نماند؛ این کار باعث کاهش کارهای تکراری و ضایعات میشود. همچنین، مصرف انرژی نیز کاهش مییابد؛ زیرا این ماژولها فقط بخش مورد نظر را گرم میکنند، نه کل محفظه.
و وقتی که نیاز به ادامه فرآیند تولید باشد، میتوان از قطعات یدکی آنلاین استفاده کرد. این قطعات با اتصالات و فایلهای کالیبراسیون مشخص، میتوانند به راحتی در جای خود قرار گیرند؛ بنابراین میتوان کارایی حرارتی دستگاه را بدون نیاز به بازنگری در کل فرآیند، حفظ کرد.
نکات مهم در طراحی این سیستم: گرمایش مادون قرمز نیازمند توجه به جغرافیای محیط و میزان تابش انرژی است. باید محل قرارگیری این ماژولها را به درستی تعیین کرد؛ سپس میتوان آزمایشهای لازم را انجام داد تا دمای واقعی ویفرها مشخص شود. پس از آن، فرآیند تولید میتواند به صورت استابیل ادامه یابد. کنترل دما، تفاوت بین یک فرآیند استابیل و یک فرآیند پرهزینه است.