دیگر اجازه ندهید انرژی بیهوده هدر برود!
وقتی که ویفرهای سیلیکونی را گرم میکنید، هر وات انرژی اضافی، در واقع پولی است که از دست میرود.
مشکل اینجاست: لامپهای مادون قرمز استاندارد، انرژی را در همه جا پخش میکنند؛ اما در دستگاههای مربوط به ویفرها، تنها چیزی که اهمیت دارد، گرمایی است که به سطح ویفر میرسد. بقیه چیزها فقط باعث اتلاف انرژی میشوند. ما این مشکل را با استفاده از فناوری پوشش طلایی حل کردهایم؛ به جای اینکه انرژی به بدنه دستگاه نفوذ کند، آن را دوباره به سمت ویفر هدایت میکنیم.
چرا طلا؟
زیرا طلا از نظر بازتاب نور مادون قرمز، عالی عمل میکند. اکثر افراد از بازتابندههای آلومینیومی استفاده میکنند؛ اما این بازتابندهها در دماهای بالا، انرژی زیادی را جذب میکنند. طلا چنین رفتاری ندارد؛ آن فوتونها را تقریباً بدون هیچ اتلافی بازتاب میدهد. این بدان معناست که هر وات انرژی که از منبع تغذیه دریافت میکنید، واقعاً به کار خود میرسد و باعث افزایش دمای سطح ویفر میشود.
مسئله تمرکز انرژی
ما فقط نور را به اطراف پرتاب نمیکنیم؛ بلکه آن را به سمت یک نقطه خاص هدایت میکنیم. شکل بدنه پوشیده شده با طلا، به گونهای طراحی شده که گرما را در یک نقطه خاص متمرکز کند. این روش باعث میشود که دمای مورد نظر به سرعت حاصل شود. علاوه بر این، این روش باعث ایجاد گرادیان حرارتی دقیقتری میشود. اگر با سطحی به اندازه ۳۰۰ میلیمتر کار میکنید، این تنها روش واقعی برای اطمینان از یکنواختی فرآیند در سراسر سطح ویفر است.
مشکلات و راهحلها
البته، تمرکز انرژی به این میزان، مشکلاتی را نیز به همراه دارد. از آنجایی که ما مقدار زیادی گرما را به سمت ویفر هدایت میکنیم، اگر جریان هوا مناسب نباشد، بدنه دستگاه میتواند آسیب ببیند. باید مطمئن شوید که فنهای خنککننده و سیستمهای خنککننده، کار خود را به خوبی انجام میدهند. اگر بدنه دستگاه بیش از حد گرم شود، میتواند تغییر شکل دهد؛ در این صورت، نقطه تمرکز انرژی تغییر کرده و نقاط سردی روی ویفر ایجاد میشود. این وضعیت مناسب نیست.
خبر خوب این است که این سیستمها به گونهای طراحی شدهاند که بتوانند جایگزین دستگاههای مادون قرمز استاندارد شوند. کافی است آنها را به کنترلر موجود خود متصل کنید. متوجه خواهید شد که دستگاه به سرعت به دمای مورد نظر میرسد؛ زیرا دیگر مجبور نیستید با قوانین فیزیک مبارزه کنید.