در کارخانههای تولید، هدر رفتن انرژی فقط مشکل مربوط به بودجه نیست؛ بلکه یک مشکل جدی است. وقتی که سعی میکنیم ویفرها را گرم کنیم، نمیخواهیم که انرژی در همه جا پخش شود؛ بلکه میخواهیم که انرژی دقیقاً در جای مناسب خود قرار بگیرد.
به همین دلیل از آینههای پوشیده شده با طلا استفاده میکنیم. به جای اینکه امواج مادون قرمز وارد بدنه دستگاه شوند، آنها را دوباره به سمت ویفر بازمیگردانیم.
چرا طلا؟
اکثر افراد از آلومینیوم استفاده میکنند، اما مشکل اینجاست که آلومینیوم انرژی زیادی را جذب میکند. این مانند تلاش برای پرتاب توپ به سمت یک اسفنج است.
طلا متفاوت است؛ این فلز در طیف مادون قرمز، بازتاب بسیار خوبی دارد. با استفاده از لایههای طلا با خلوص بالا، میتوانیم از هدر رفتن انرژی جلوگیری کنیم. در نتیجه، گرمای بیشتری در هر وات تولید میشود؛ یعنی میتوانیم دمای مورد نظر را سریعتر به دست آوریم. علاوه بر این، نیازی نیست ولتاژ را آنقدر بالا ببریم که خطر خراب شدن لامپها وجود داشته باشد.
تنظیم صحیح فوکوس
اینجاست که مشکلات معمولاً پیش میآیند. اگر پرتو نور مناسباً فوکوس نشود، فقط میتوانیم حدس بزنیم.
ما از اشکال پارابولیک یا بیضوی برای متمرکز کردن امواج مادون قرمز استفاده میکنیم؛ این کار باعث میشود که گرمای تولید شده در جای دقیق مورد نظر قرار بگیرد.
اما باید تعادلی وجود داشته باشد؛ اگر هندسه کمی اشتباه باشد، نقاط گرمی ایجاد شده و ویفر دچار تغییر شکل میشود. طلا به حفظ تعادل کمک میکند؛ زیرا ضریب بازتاب یکنواختی دارد، بنابراین تفاوت دما در سراسر ویفر در چند درجه باقی میماند. این موضوع باعث میشود که اطمینان داشته باشیم که گرمای تولید شده یکنواخت است.
واقعیت
حالا باید صادق باشیم: طلا ارزان نیست؛ هزینه آن بیشتر از فولاد یا آلومینیوم صیقلی است.
همچنین، طلا نیاز به مراقبتهای خاصی دارد؛ یک اثر انگشت یا لکه روغن روی سطح طلا، باعث میشود که آن نقطه انرژی را جذب کند به جای اینکه آن را بازتاب دهد. در نتیجه، گرمای تولید شده ناهموار خواهد بود.
تیم تعمیراتی باید به طور دقیق سطح طلا را تمیز کند؛ اگر از روشهای مناسب برای حفظ سطح تمیز استفاده نکنند، تمام مزایای حاصل از استفاده از طلا از بین خواهد رفت.