Hentikan pembaziran tenaga pada alat pemprosesan wafer
Ketika anda memanaskan wafer silikon, setiap watt tenaga yang terbuang merupakan pembaziran wang yang sia-sia.
Masalahnya adalah lampu inframerah biasa akan memancarkan tenaga ke segala arah. Namun, dalam alat pemprosesan wafer, yang penting hanyalah haba yang sampai ke permukaan wafer tersebut. Semua tenaga yang lain hanyalah bahan buangan sahaja. Kita menyelesaikan masalah ini dengan menggunakan teknologi pelapisan emas. Daripada membiarkan tenaga tersebut tersebar ke seluruh bahagian alat, kita alihkannya kembali ke permukaan wafer.
Mengapa emas?
Kerana emas sangat efektif dalam memantulkan cahaya inframerah. Kebanyakan orang menggunakan reflektor aluminium, tetapi reflektor jenis ini akan menyerap terlalu banyak haba apabila suhu meningkat. Emas tidak berkelakuan begitu. Ia memantulkan foton kembali dengan kerugian yang hampir sifar. Ini bermakna setiap watt tenaga yang digunakan benar-benar digunakan untuk meningkatkan suhu permukaan wafer.
Ia semua berkaitan dengan fokus
Kita bukan sekadar memantulkan cahaya secara rawak; kita mengarahkannya ke titik tertentu. Bentuk badan alat yang dilapisi emas direka untuk memfokuskan haba pada kawasan tertentu. Dengan cara ini, suhu permukaan wafer dapat ditingkatkan dengan lebih cepat. Selain itu, ia juga memberikan gradien haba yang lebih tepat. Jika anda bekerja dengan permukaan berukuran 300mm, inilah satu-satunya cara untuk memastikan proses pemprosesan berjalan secara seragam di seluruh permukaan wafer.
Cabaran dan cara mengatasinya
Konsentrasi tenaga yang tinggi ini memerlukan pertukaran tertentu. Oleh kerana kita menyalurkan banyak haba ke wafer, badan alat tersebut boleh rosak jika aliran udara tidak mencukupi. Anda perlu memastikan kipas penyejuk dan alat penyerap haba berfungsi dengan baik. Jika badan alat menjadi terlalu panas, ia boleh berubah bentuk. Apabila bentuknya berubah, titik fokus pun berubah, dan akibatnya akan timbul kawasan yang sejuk pada permukaan wafer. Ini tentunya bukan sesuatu yang diinginkan.
Berita baiknya? Sistem ini direka untuk menggantikan array IR biasa. Anda hanya perlu menyambungkannya ke kontroler yang sudah ada. Anda akan perasan bahawa alat ini dapat mencapai suhu yang diinginkan dengan lebih cepat, kerana anda tidak perlu berhadapan dengan masalah fizik lagi.